Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Кушхов Аскер Русланович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кушхов, А. Р. |
| Опубликовано: | Нальчик , 2004 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||