|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br760792 |
| 005 |
20070615183502.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 20051005d2004 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Построение систем управления и информационно-измерительных модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.02.13 ; 05.13.06
$f Панов Петр Иннокентьевич
$g [Научно-исследовательский институт систем управления, волновых процессов и технологий (НИИ СУВПТ) Министерства образования Российской Федерации]
|
| 210 |
# |
# |
$a Красноярск
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25-26 (14 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18851
$a МОНОКРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar28578
$a РОСТ КРИСТАЛЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6560
$a ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35285
$a УПРАВЛЕНИЯ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18852
$a МОНАКРЫШТАЛІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar28579
$a РОСТ КРЫШТАЛЁЎ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12101
$a ІНФАРМАЦЫЙНА-ВЫМЯРАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35286
$a КІРАВАННЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12100
$a ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6561
$a ВЫСОКАПРАДУКЦЫЙНЫЯ ВЫЛІЧАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.17
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.02.13
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-654458
$a Панов
$b П. И.
$g Петр Иннокентьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20051005
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
