Построение систем управления и информационно-измерительных модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.02.13 ; 05.13.06 / Панов Петр Иннокентьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД140939,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Панов, П. И.
Опубликовано: Красноярск , 2004
Физические характеристики: 26 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br760792
005 20070615183502.8
100 # # $a 20051005d2004 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Построение систем управления и информационно-измерительных модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.02.13 ; 05.13.06  $f Панов Петр Иннокентьевич  $g [Научно-исследовательский институт систем управления, волновых процессов и технологий (НИИ СУВПТ) Министерства образования Российской Федерации] 
210 # # $a Красноярск  $d 2004 
215 # # $a 26 с. 
300 # # $a Библиография: с. 25-26 (14 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28578  $a РОСТ КРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6560  $a ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35285  $a УПРАВЛЕНИЯ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18852  $a МОНАКРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28579  $a РОСТ КРЫШТАЛЁЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12101  $a ІНФАРМАЦЫЙНА-ВЫМЯРАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35286  $a КІРАВАННЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12100  $a ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6561  $a ВЫСОКАПРАДУКЦЫЙНЫЯ ВЫЛІЧАЛЬНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 31.15.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.02.13  $2 oksvnk 
686 # # $a 05.13.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-654458  $a Панов  $b П. И.  $g Петр Иннокентьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20051005  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo