Построение систем управления и информационно-измерительных модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.02.13 ; 05.13.06 / Панов Петр Иннокентьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панов, П. И. |
| Опубликовано: | Красноярск , 2004 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||