Синтез диэлектрического материала из оксида кремния для изолюции полупроводниковых приборов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.17.11: 03.11.1983 / Мучак Иван Филиппович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мучак, И. Ф. (род. 1942) |
| Опубликовано: | Минск , 1983 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||