Разработка низкотемпературных процессов формирования плазменных анодных окислов арсенида галлия для изготовления ИМС: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01: 04.06.1987 / Барасьев Сергей Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Барасьев, С. В. |
| Опубликовано: | Минск , 1987 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||