Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: утверждена 23.03.05: 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович

Zapisane w:
Шифр документа: 26АД6202,
Format: Диссертации
1. autor: Турцевич, А. С. (род. 1958)
Wydane: Минск , 2004
Opis fizyczny: 198 л.
Język: Русский
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online: E-документ

ОФХ диссертаций

Всего : 1 , доступно: 1 Dostępne  Zamów

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
26АД6202 ОФХ диссертаций (042) 11:4:1:16 СВОБОДЕН Зал диссертаций