Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: утверждена 23.03.05: 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
Wydane: | Минск , 2004 |
Opis fizyczny: |
198 л.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|