Схожие документы

• Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Турцевич Аркадий Степанович. - Минск, 2004. - 26 с.
  Автор: Турцевич, А. С. (род. 1958)
  Опубликовано: (2004)
• Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1982 годы) / А. С. Адонин [и др.]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983. — 52 с. — (Обзоры по электронной технике. Полупроводниковые приборы ; 1983, вып. 7)
  Автор: Адонин, А. С.
  Опубликовано: (1983)
• Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01: защищена 23.04.10: утверждена 22.12.10 / Турцевич Аркадий Степанович. - Минск, 2009. - 483 л.
  Автор: Турцевич, А. С. (род. 1958)
  Опубликовано: (2009)