Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: утверждена 23.03.05: 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Published: | Минск , 2004 |
| Physical Description: |
198 л.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||