Модификация свойств кремния с использованием облучения ионно-плазменными пучками: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 01.04.07 / Тамендаров Марат Фатыхович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тамендаров, М. Ф. |
| Опубликовано: | Алматы , 2004 |
| Физические характеристики: |
48 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||