Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Авдиенко Александр Андреевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Авдиенко, А. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2004 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||