|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br728293 |
| 005 |
20070615192719.7 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050609d2004 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология формирования структур "кремний на изоляторе"
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e 05.27.06
$f Тимошенков Сергей Петрович
$g [Московский государственный институт электронной техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 45 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 33-45 (105 названий).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83377
$a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2320
$a АМОРФНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18375
$a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83378
$a КРЭМНІЙ НА ІЗАЛЯТАРЫ-ТЭХНАЛОГІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2321
$a АМОРФНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.41
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-357792
$a Тимошенков
$b С. П.
$g Сергей Петрович
$c доктор технических наук
$f род. 1957
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050609
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|
