Технология формирования структур "кремний на изоляторе": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Тимошенков Сергей Петрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тимошенков, С. П. (род. 1957) |
| Опубликовано: | Москва , 2004 |
| Физические характеристики: |
45 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||