|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br724061 |
| 005 |
20070615192653.6 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050527d2003 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Каратунов Юрий Владимирович
$g [Московский государственный институт электронной техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 27 (8 названий).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39298
$a ЭЛЕКТРОХИМИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6762
$a ГАЗОВЫЕ СРЕДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39077
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33875
$a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22115
$a АСАДЖЭННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39299
$a ЭЛЕКТРАХІМІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6763
$a ГАЗАВЫЯ АСЯРОДДЗІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28572
$a Россия
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28573
$a Расія
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.59
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-596336
$a Каратунов
$b Ю. В.
$g Юрий Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050527
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|
