Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Каратунов Юрий Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Каратунов, Ю. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2003 |
| Физические характеристики: |
28 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||