|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
001 |
BY-NLB-br716771 |
005 |
20070615192604.4 |
100 |
# |
# |
$a 20050512d2004 u y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a ru
|
105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
200 |
1 |
# |
$a Фазовый состав, ориентация и субстракция силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.07
$f Солдатенко Сергей Анатольевич
$g [Воронежский государственный технический университет]
|
210 |
# |
# |
$a Воронеж
$d 2004
|
215 |
# |
# |
$a 17 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16-17 (16 названий).
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83953
$a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35619
$a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11558
$a ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83954
$a КАНДЭНСАВАНЫ СТАН
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30001
$a СІЛІЦЫДЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35620
$a ФАЗАВЫ САСТАЎ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11559
$a ІМПУЛЬСНАЯ АПРАЦОЎКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30000
$a СИЛИЦИДЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-591352
$a Солдатенко
$b С. А.
$g Сергей Анатольевич
$c кандидат физико-математических наук
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050512
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|