Фазовый состав, ориентация и субстракция силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Солдатенко Сергей Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад128322,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Солдатенко, С. А.
Опубликовано: Воронеж , 2004
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br716771
005 20070615192604.4
100 # # $a 20050512d2004 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Фазовый состав, ориентация и субстракция силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.07  $f Солдатенко Сергей Анатольевич  $g [Воронежский государственный технический университет] 
210 # # $a Воронеж  $d 2004 
215 # # $a 17 с. 
300 # # $a Библиография: с. 16-17 (16 названий). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83953  $a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35619  $a ФАЗОВЫЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11558  $a ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83954  $a КАНДЭНСАВАНЫ СТАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30001  $a СІЛІЦЫДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35620  $a ФАЗАВЫ САСТАЎ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11559  $a ІМПУЛЬСНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30000  $a СИЛИЦИДЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-591352  $a Солдатенко  $b С. А.  $g Сергей Анатольевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050512  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060317  $g psbo