Фазовый состав, ориентация и субстракция силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Солдатенко Сергей Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Солдатенко, С. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 2004 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||