|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br713754 |
| 005 |
20070615192620.9 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050502d2004 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук
$e 02.00.21
$f Афонин Николай Николаевич
$g [Воронежский государственный педагогический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Воронеж
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 35 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 32-35.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2148506
$a ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18851
$a МОНОКРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar78137
$a ОКСИДИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23916
$a ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar63917
$a ПРИМЕСНЫЕ УРОВНИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2148508
$a ХІМІЯ ЦВЁРДАГА ЦЕЛА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18852
$a МОНАКРЫШТАЛІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar78138
$a АКСІДЗІРАВАННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar63918
$a ПРЫМЕСНЫЯ ЎЗРОЎНІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23917
$a ПАВЕРХНЕВЫЯ З'ЯВЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.19
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.21
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-593006
$a Афонин
$b Н. Н.
$g Николай Николаевич
$c доктор химических наук
$f род. 1958
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050502
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060317
$g psbo
|
