Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук: 02.00.21 / Афонин Николай Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Афонин, Н. Н. (род. 1958) |
| Опубликовано: | Воронеж , 2004 |
| Физические характеристики: |
35 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||