Синтез углеродистых пленок в неизотермической плазме на подложках различных типов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.17.01 / Ерузин Александр Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ерузин, А. А. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2004 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||