Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук в форме научного доклада: 05.27.01 / Яшин Константин Дмитриевич
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Яшин, К. Д. (1950—2021) |
| Publicado: | Минск , 1990 |
| Descripción Física: |
25 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||