Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук в форме научного доклада: 05.27.01 / Яшин Константин Дмитриевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Яшин, К. Д. (1950—2021) |
| Опубликовано: | Минск , 1990 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||