Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук в форме научного доклада: 05.27.01 / Яшин Константин Дмитриевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Яшин, К. Д. (1950—2021) |
| Veröffentlicht: | Минск , 1990 |
| Beschreibung: |
25 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||