Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук в форме научного доклада: 05.27.01 / Яшин Константин Дмитриевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Яшин, К. Д. (1950—2021) |
| Апублікавана: | Минск , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
25 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||