|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br696972 |
| 005 |
20210611103540.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050314d1990 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук в форме научного доклада
$e 05.27.01
$f Яшин Константин Дмитриевич
$g Минский радиотехнический институт
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19―25 (60 назв.)
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1-027.3:621.793.16(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.99
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-197424
$a Яшин
$b К. Д.
$g Константин Дмитриевич
$c кандидат технических наук, электроника
$f 1950—2021
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050314
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
