Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления-температуры, пьерорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники: автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Соколов Леонид Владимирович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Соколов, Л. В. |
| Veröffentlicht: | М. , 2003 |
| Beschreibung: |
45 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||