|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br694863 |
| 005 |
20210616162326.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050310d2005 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии
$e автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$e 17.03.2005
$f Коробко Юлия Олеговна
$g Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 2005
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Рез.: рус., белорус., англ
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 18-19 (12 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18375
$a МІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ПРАМЫСЛОВАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85257
$a ФОТАЛІТАГРАФІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a КМОП-ИС
|
| 610 |
0 |
# |
$a КМОП-ІС
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:776(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-378834
$a Коробко
$b Ю. О.
$g Юлия Олеговна
$c кандидат технических наук, электроника
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050310
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2Ad121553.pdf
|
