Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: 17.03.2005 / Коробко Юлия Олеговна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коробко, Ю. О. |
| Опубликовано: | Мн. , 2005 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||