Химическое травление полупроводниковых соединений: Учеб.пособие по курсу"Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники" / Моск.ин-т электрон.техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сорокин, И. Н. |
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1992 |
| Физические характеристики: |
96с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||