Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Е. К. Чехович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чехович, Е. К. |
| Опубликовано: | Минск : Наука и техника , 1989 |
| Физические характеристики: |
212, [1] c. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||