Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А. Ф. Буренков [и др.]
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| Wydane: | Минск : ИМ АН БССР , 1991 |
| Opis fizyczny: |
24, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Препринт
№ 3 (453) |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||