Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А. Ф. Буренков [и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск : ИМ АН БССР , 1991 |
| Физические характеристики: |
24, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 3 (453) |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||