Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А. Ф. Буренков [и др.]
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Published: | Минск : ИМ АН БССР , 1991 |
| Physical Description: |
24, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Препринт
№ 3 (453) |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||