Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А. Ф. Буренков [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: Ба241370, 436703,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : ИМ АН БССР , 1991
Физические характеристики: 24, [1] с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Препринт № 3 (453)
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МОП-СТРУКТУРЫ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
ЛЕГИРОВАНИЕ
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ НАГРЕВ
ОТЖИГ
ПРИМЕСИ
ДИФФУЗИЯ
ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br676781
005 20170628120759.0
010 # # $d 5 к. 
100 # # $a 20050117d1991 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением  $f А. Ф. Буренков [и др.] 
210 # # $a Минск  $c ИМ АН БССР  $d 1991 
215 # # $a 24, [1] с.  $c ил.  $d 20 см 
225 1 # $a Препринт  $f Академия наук Белорусской ССР, Институт математики  $v № 3 (453) 
320 # # $a Библиография: с. 25 (11 назв.) 
345 # # $9 120 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64055  $a МОП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar63514  $a ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ НАГРЕВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9565  $a ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37857  $a ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.01:519.6(0.036.4)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.03.05  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 27.41.17  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 27.35.38  $v 4  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-186601  $a Буренков  $b А. Ф.  $g Александр Федорович  $c доктор физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-217293  $a Жук  $b В. А.  $g Виктор Афанасьевич  $c кандидат физико-математических наук, математик 
701 # 1 $3 BY-SEK-316419  $a Кирковский  $b А. И.  $g Александр Иванович  $c математик  $c физик 
701 # 1 $3 BY-SEK-176644  $a Цурко  $b В. А.  $g Валерий Адамович  $c доктор физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar185081  $a Институт математики  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050117  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 

Схожие документы