Электрическая активность имплантированных ионами инертных газов слоев кремния, обусловленная примесью кислорода / Н.М.Казючиц, В.С.Вариченко, А.Ю.Дидык и др.

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок93604(ДХ),
Вид документа: Книги
Опубликовано: Дубна : ОИЯИ , 1996
Физические характеристики: 10 с.
Язык: Русский
Серия: Сообщения Объединенного института ядерных исследований Р14-96-231
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br67619
005 20070615155800.2
010 # # $d 1140 р. 
100 # # $a 19940530d1996 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Электрическая активность имплантированных ионами инертных газов слоев кремния, обусловленная примесью кислорода  $f Н.М.Казючиц, В.С.Вариченко, А.Ю.Дидык и др. 
210 # # $a Дубна  $c ОИЯИ  $d 1996 
215 # # $a 10 с. 
225 1 # $a Сообщения Объединенного института ядерных исследований  $v Р14-96-231 
300 # # $a Библиогр.: с. 10 (8 назв.). 
345 # # $9 310 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105994  $a БЛАГОРОДНЫЕ ГАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38846  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105997  $a ВЫСАКАРОДНЫЯ ГАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38847  $a ЭЛЕКТРЫЧНАЯ АКТЫЎНАСЦЬ  $2 DVNLB 
675 # # $a 539.2:539.1.04  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-216880  $a Казючиц  $b Н. М.  $g Николай Михайлович  $c физик 
701 # 1 $3 BY-SEK-216878  $a Вариченко  $b В. С.  $g Валерий Сергеевич  $c кандидат физико-математических наук  $f род. 1956 
701 # 1 $3 BY-SEK-126972  $a Дидык  $b А. Ю.  $g Александр Юрьевич  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1952 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19940530  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo