Электрическая активность имплантированных ионами инертных газов слоев кремния, обусловленная примесью кислорода / Н.М.Казючиц, В.С.Вариченко, А.Ю.Дидык и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Дубна : ОИЯИ , 1996 |
| Физические характеристики: |
10 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сообщения Объединенного института ядерных исследований
Р14-96-231 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||