Исследование дефектообразования в эпитаксиальных слоях кремния при облучении и термообработках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физико-мат. наук: 01.04.10 / Цикунов Александр Владимирович
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Цикунов, А. В. |
Publié: | Мн. , 1991 |
Description matérielle: |
17, [1] c. ; 20 см.
|
Langue: | Русский |
Sujets: | |
Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|