Исследование дефектообразования в эпитаксиальных слоях кремния при облучении и термообработках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физико-мат. наук: 01.04.10 / Цикунов Александр Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Цикунов, А. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1991 |
| Физические характеристики: |
17, [1] c. ; 20 см.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||