Исследование дефектообразования в эпитаксиальных слоях кремния при облучении и термообработках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физико-мат. наук: 01.04.10 / Цикунов Александр Владимирович
Guardado en:
Formato: | |
---|---|
Autor principal: | Цикунов, А. В. |
Publicado: | Мн. , 1991 |
Descripción Física: |
17, [1] c. ; 20 см.
|
Lenguaje: | Русский |
Materias: | |
Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|