Исследование дефектообразования в эпитаксиальных слоях кремния при облучении и термообработках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физико-мат. наук: 01.04.10 / Цикунов Александр Владимирович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Цикунов, А. В. |
| Апублікавана: | Мн. , 1991 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
17, [1] c. ; 20 см.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||