Исследование дефектообразования в эпитаксиальных слоях кремния при облучении и термообработках: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физико-мат. наук: 01.04.10 / Цикунов Александр Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба248187,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Цикунов, А. В.
Опубликовано: Мн. , 1991
Физические характеристики: 17, [1] c. ; 20 см.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br674452
005 20181218091106.0
100 # # $a 20050106d1991 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y m 000 y 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование дефектообразования в эпитаксиальных слоях кремния при облучении и термообработках  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физико-мат. наук  $e 01.04.10  $f Цикунов Александр Владимирович  $g Белорус. гос. ун-т им. В.И.Ленина 
210 # # $a Мн.  $d 1991 
215 # # $a 17, [1] c.  $d 20 см. 
300 # # $a Библиогр. в конце текста (26 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60712  $a РАДИАЦИОННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55517  $a ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4348477  $a ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ  $2 DVNLB 
610 0 # $a эпитаксиальные слои 
610 0 # $a эпітаксіальныя слаі 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.5:669.782.019-15(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:620.192.424(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 537.311.322:539.1.043(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.25  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-190412  $a Цикунов  $b А. В.  $g Александр Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20050106  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/BA248187.pdf