Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Табулин Александр Иосифович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Табулин, А. И. |
| Wydane: | Минск , 1991 |
| Opis fizyczny: |
; 20 см.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||