Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Табулин Александр Иосифович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Табулин, А. И. |
| Published: | Минск , 1991 |
| Physical Description: |
; 20 см.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||