Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Табулин Александр Иосифович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Табулин, А. И. |
| Апублікавана: | Минск , 1991 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
; 20 см.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||