|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br673003 |
| 005 |
20220414180305.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050103d1991 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a y z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математические и аппаратно-программные средства диагностики стеклопластин для высокоточных фотошаблонов и подложек интегральных схем на основе распределения поверхностного потенциала
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Табулин Александр Иосифович
$g Минский радиотехнический институт
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$d 20 см.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 14―15 (9 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85262
$a ФОТОШАБЛОНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33782
$a ТЕХНИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14496
$a КОНТАКТНАЯ РАЗНОСТЬ ПОТЕНЦИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33790
$a ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar46614
$a ПРОГРАММНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ СРЕДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14:620.179.148:004(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.41
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.41.25
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$v 5
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-119624
$a Табулин
$b А. И.
$g Александр Иосифович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050103
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br673003&fileID=101588
|
