Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.07; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| Published: | Мн. , 2004 |
| Physical Description: |
23 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 2 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||