Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 01.04.07; 05.27.01 / Гранько Сергей Владимирович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Гранько, С. В. (род. 1973) |
| Wydane: | Мн. , 2004 |
| Opis fizyczny: |
23 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||