|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br670654 |
| 005 |
20131025090932.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20041223d2004 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 01.04.07; 05.27.01
$f Гранько Сергей Владимирович
$g Белорус. гос. ун-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 19-20 (17 назв.).
|
| 300 |
# |
# |
$a Рез.: белорус., рус., англ
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15093
$a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24353
$a ПОЛИМЕРНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24354
$a ПАЛІМЕРНЫЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.002(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-587361
$a Гранько
$b С. В.
$g Сергей Владимирович
$c кандидат технических наук
$c микроэлектроника
$f род. 1973
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20041223
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br670654&fileID=1022960
|
