Формирование пленочных структур золь-гель методом, их свойства и применение в микроэлектронике: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Гапоненко Николай Васильевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад115757, 2Ад115758,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гапоненко, Н. В. (род. 1962)
Опубликовано: Минск , 2004
Физические характеристики: 37 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
СИНТЕЗ (хим.)
ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПРОЦЕСС
КСЕРОГЕЛИ
ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕ
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ПОРИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ФОТОННЫЕ КРИСТАЛЛЫ
ФОТОЛЮМИНОФОРЫ
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br670556
005 20220415121713.0
100 # # $a 20041223d2004 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d bel  $d rus  $d eng 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Формирование пленочных структур золь-гель методом, их свойства и применение в микроэлектронике  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Гапоненко Николай Васильевич  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2004 
215 # # $a 37 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках 
311 # # $a В фонде имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 24—34 (102 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1595507  $a ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659644  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18378  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2445715  $a СИНТЕЗ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24726  $a ПОРИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35859  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37399  $a ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4417069  $a КСЕРОГЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4780042  $a ФОТОЛЮМИНОФОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar73978  $a ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПРОЦЕСС  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82989  $a ФОТОННЫЕ КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.232(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:66.091.3:544.77.022.822(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77-03(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.41.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.41.39  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-526359  $a Гапоненко  $b Н. В.  $g Николай Васильевич  $c доктор физико-математических наук  $c кандидат технических наук  $f род. 1962 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20041223  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br670556&fileID=1012887 

Схожие документы