Формирование пленочных структур золь-гель методом, их свойства и применение в микроэлектронике: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Гапоненко Николай Васильевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гапоненко, Н. В. (род. 1962) |
| Опубликовано: | Минск , 2004 |
| Физические характеристики: |
37 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||