|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br659207 |
| 005 |
20231004132647.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20041118d1991 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.07
$f Федотов Сергей Александрович
$g Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 14―17 (21 назв.). Библиография в подстрочных примечаниях
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12788
$a КАНАЛИРОВАНИЕ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24610
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26709
$a ПУЧКИ ЧАСТИЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35953
$a ФИЗИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 538.97(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 nsnrsssr
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.17
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.25
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.37
$v 5
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-186400
$a Федотов
$b С. А.
$g Сергей Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20041118
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br659207&fileID=97307
|
